干式螺杆真空泵的泵腔内配有一对多级螺旋转子，呈相反方向同步旋转，将泵腔划分为若干相互隔离的工作腔。正常运行时，随着转子的啮合与旋转，泵腔内首先形成感应腔，感应腔容积逐渐增大，将气体吸入。当容积达到最大时，感应腔转变为中间腔，中间腔将吸入的气体从入口端输送至排气端。当其与排气口对接时，转变为排气腔，排气腔容积逐步减小，将气体排出。当排空后，下一个中间腔再次与排气口连通，如此循环往复，持续产生稳定的真空抽吸。
| 型号 |
抽速 (50/60Hz) |
极限压力 (L/s) |
进气口径 (mm) |
出气口径 (mm) |
配用功率 (kW) (50/60Hz) |
冷却水量 (L/min) |
Weight (kg) |
||
| Torr | Pa | m³/Hr | L/S | ||||||
| KGB70 | 0.015/0.0075 | 2/1 | 250/300 | 70/84 | 65 | 40 | 7.5/7.5 | 2.5 | 295 |
| KGB110 | 400/480 | 110/132 | 80 | 40 | 7.5/7.5 | 2.6 | 350 | ||
| KGB160 | 576/690 | 160/192 | 100 | 65 | 15/15 | 2.8 | 480 | ||
| KGB220 | 792/950 | 220/264 | 150 | 65 | 18.5/22 | 3 | 520 | ||
| KGB220A | 792/950 | 220/264 | 150 | 80 | 18.5/22 | 3 | 800 | ||
| KGB330 | 1180/1425 | 330/396 | 150 | 65 | 30/30 | 4 | 680 | ||
| KGB450 | 1620/1944 | 450/540 | 200 | 80 | 45/45 | 6 | 950 | ||
| KGB280 | 0.75/0.52 | 100/70 | 1008/210 | 280/336 | 150 | 65 | 22/22 | 3.2 | 520 |
| KGB300 | 1080/1290 | 300/360 | 150 | 65 | 22/22 | 4 | 520 | ||
| KGB400 | 1440/1728 | 400/480 | 150 | 65 | 37/37 | 5 | 680 | ||
